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本文运用俄歇化学效应研究了三种纳米薄膜材料的表面,膜层及界面元素的化学状态。研究结果表明用作可燃气体传感器的氧化锡气敏薄膜在离子注Sb层中以SbSnOx物种存在,在无Sb层中则以SnOx(x<1)形式存在。高能离子注入的金属Sb也以SbSnOx物种存在。具有太阳能选择性吸收功能的氮化铝薄膜则以AlNxOy物相存在。而APCVD法制备的氮化硅薄膜热氧化不稳定的本质则是由于成膜过程中在膜层中包埋了活性