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介绍了适用于超高真空和极高真空应用的出气速率近年来在日本的研究情况。同时介绍了日本昭和真空公司在真空镀膜方面的新应用。
日本真空技术的应用现况
【摘 要】
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介绍了适用于超高真空和极高真空应用的出气速率近年来在日本的研究情况。同时介绍了日本昭和真空公司在真空镀膜方面的新应用。
【机 构】
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兰州物理研究所730000
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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1993年3期
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