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拉曼光谱法研究微晶硅薄膜应力梯度
拉曼光谱法研究微晶硅薄膜应力梯度
来源 :科学技术与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:protosser
【摘 要】
:
采用拉曼光谱法研究了不同退火时间下的微晶硅薄膜应力。结果发现样品的应力梯度并不随着退火时间的增加而增大。而是存在最大值,这可能与晶粒尺寸有关,且靠近玻璃衬底的薄膜有
【作 者】
:
王建军
陈花
【机 构】
:
榆林学院
【出 处】
:
科学技术与工程
【发表日期】
:
2011年23期
【关键词】
:
拉曼光谱
微晶硅薄膜
应力
Raman spectroscopy microcrystalline silicon thin films stress
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采用拉曼光谱法研究了不同退火时间下的微晶硅薄膜应力。结果发现样品的应力梯度并不随着退火时间的增加而增大。而是存在最大值,这可能与晶粒尺寸有关,且靠近玻璃衬底的薄膜有较高压应力,由衬底到薄膜表面压应力逐渐减小,直到表面变为拉应力。
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