【摘 要】
：
利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通
【机 构】
：
重庆大学机械工程学院,清华大学精密仪器与机械学系微系统与控制技术研究室,清华大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,重庆科技学院电气与信息工程学院
论文部分内容阅读
利用传统的硅微加工技术,在硅片上制作出平行的微电极对,然后对硅片进行深刻蚀穿通,在微电极对之间获得长方形的贯通缝。接着利用大气流定向式的化学气相沉积方法在带有贯通缝与微电极的硅片上生长出超长单壁碳纳米管阵列,使单壁碳纳米管阵列较整齐地悬于平行电极对之间,待将生长有纳米管的硅片粘在聚氯乙稀薄板上之后,再用激光技术切除掉贯通缝的连接部分,使作用于聚氯乙稀薄板上的力能够直接传递到单壁碳纳米管阵列。引出导线,完成此微纳力敏传感器件的制作。随后主要开展悬空单壁碳纳米管阵列应变传感方面的研究,获得了较高的压阻因子与线
其他文献
在定容弹上利用高速摄影进行不同背压下3种喷油器的甲醇低压喷射射流特性试验。测量3种喷油器不同背压下单次喷射的甲醇质量。使用Matlab软件对数字图像进行后处理,测取射流
有机会去美国,自然就有机会观察了解一下美国人。虽然有语言障碍,更无法深入到他们的日常生活中去,但就个人印象而言,美国人也不会轻易地使人想入非非。
If you have the op
航空发动机的润滑系统和二次空气流动系统的设计依赖于对轴承腔中复杂的油气两相流动状态的理解,这其中包括影响轴承腔润滑和换热性能的壁面油膜物理特性。运动油滴转移的质
世界上大多数国家已经开始注意到设计对全球市场中国家竞争力和产业竞争力的重要性,因此政府开发了很多设计政策。2003年出版的Designum报告强调不同国家的设计政策非常相似,
问:作为世博会景观部分的总设计师,世博后,您如何看待未来景观设计的发展方向?于:今天有人谈到设计中的"感性"设计和"理性"设计的问题。我认为设计更多应该是能够抛开一些浮
刚从北京参加全国劳模表彰会归来，莆田县水电局工程师龚哲清又一头扎进山沟沟的南陂水电站扩建工地，起早摸黑、废寝忘食忙得团团转。这位饱经风霜的中年汉子瘦削身材，镜片后面的
在目前我国农业和农村经济发展出现阶段性变化的情况下，如何进一步提高农业整体素质和效益是农业和农村工作中亟待解决的重大问题。福建通过创建福州、漳州海峡两岸农业合作实
1995年以来，福建师范大学中文系的发展特别引人注目。它先后争取到一个“国家文科基地”，一个省“211工程重点学科”和两个博士点。1999年6月，党总支被省委授予“先进基层党组织