论文部分内容阅读
为减少自加热效应，利用多孔硅外延转移技术成功地制备出一种以氮化硅为埋层的SOI新结构，高分辨率透射电镜和扩展电阻测试结果表明得到的SOI新结构具有很好的结构和电学性能，退火后的氮化硅埋层为非晶结构。
多孔硅外延转移技术制备以氮化硅为绝缘埋层的SOI新结构
【摘 要】
：
为减少自加热效应，利用多孔硅外延转移技术成功地制备出一种以氮化硅为埋层的SOI新结构，高分辨率透射电镜和扩展电阻测试结果表明得到的SOI新结构具有很好的结构和电学性能，退火
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2003年2期
【基金项目】
：
国家重点基础研究专项经费 (No.G2 0 0 0 0 3 65 ),,国家自然科学基金 (批准号 :699760 3 4)资助项目 ~~
其他文献
髂前上棘的撕脱骨折在临床工作中不多见,绝大多是青少年患者,但在该疾致伤原因中,运动损伤导致青少年髂前上棘骨折是最主要的因素,直接暴力损伤少见;运动损伤中又以短跑或冲
夫妻怎样减少争吵文／龚庆霞编译同我们所爱的人争吵，实在是太容易不过了。但争吵伤感情，易反复，其至可预料。那么，怎样才能停止争吵呢？一位中年专业人员过去以为他妻子太浪费。他说
随着社会经济的发展逐渐加快,人们的生活水平有着显著的提高,对生活质量的要求也在不断的变化,对环保的重视程度也在加强,因此,市政园林的施工受到了广泛的关注。园林工作也
作为一个农业科技专家,就要比其他的科研专家吃更多的苦,遭更大的罪。如果你不甘心做一个庄稼汉,像养护自己的孩子一样年年月月地伺弄它,机遇随时可能从你身边溜走!
初春时节,在山东青岛即墨市刘家庄镇天宫院社区,新建成的22座楼房在阳光下格外引人注目。记者随意走进一户人家,正在包饺子的69岁农民贾兰香乐得合不拢嘴：“我妹妹一家来看俺
为更好地推进基层科技工作，3月6日，兵团科技局召集处级以上干部专门会议。在认真学习全国政协副主席、科技部部长万钢在全国基层科技工作会议上的讲话《做好基层科技工作，扎实推
本文利用静态场基本特性提出镜像问题新的教学方法：空间场量利用场源积分获得，未知场源根据交界面衔接条件确定，避免了镜像场源位置的假设和矢量场唯一性定理的验证，教学过程突出
对AlGaN／GaN HEMT器件采用离子注入技术注入氦离子进行隔离，应用该技术制造出的器件在室温下具有很好的特性，器件的阈值电压在-3V左右时，源漏间电流为几+nA．肖特基势垒的反向漏电
猪肉,是我国国民餐桌上的重要组成部分,也是我国食品安全重点关注的对象之一。猪肉的食用安全问题,很大程度上取决于生猪的养殖环节。物联网技术在生猪养殖中的推广应用,可以