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本文描述了激光束与硅桥作用产生的光弹，光热和光生电致张力效应。从基本的光生载流子方程和热扩散方程出发，分析和计算了各效应在桥上产生应力的大小，表明光生电致张力效应是硅桥起振的主要原因。
硅微机械谐振式传感器起振机理分析
【摘 要】
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本文描述了激光束与硅桥作用产生的光弹，光热和光生电致张力效应。从基本的光生载流子方程和热扩散方程出发，分析和计算了各效应在桥上产生应力的大小，表明光生电致张力效应是硅
【出 处】
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浙江大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年3期
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