【摘 要】
：
针对高深宽比互连微孔内金镀层存在空洞问题,使用挂镀电镀台和喷镀电镀台在不同电流密度下进行了微孔互连电镀实验,研究了两种电镀台电镀过程中镀液流场的差异,分析了两种电
论文部分内容阅读
针对高深宽比互连微孔内金镀层存在空洞问题,使用挂镀电镀台和喷镀电镀台在不同电流密度下进行了微孔互连电镀实验,研究了两种电镀台电镀过程中镀液流场的差异,分析了两种电镀台电镀结果存在明显差异的原因。采用FIB对电镀样品互连孔的剖面进行观察,结果显示,使用喷镀电镀台电流密度为0.2ASD时,介质孔内金镀层未见空洞,金镀层与介质孔壁之间无裂纹。确定介质孔内金镀层形成空洞的原因为:随着电镀进行,介质孔内镀液浓度降低,镀速下降,逐渐形成"自掩蔽"空洞。喷镀电镀具有可以促进孔内镀液交换,实现高深宽比微孔实心镀金的优势,是今后微孔实心电镀发展的重要方向之一。
其他文献
为提高病理学教学质量，笔者在病理学基础课程的部分章节中采用PBL教学法，取得了良好的教学效果。PBL教学法是以问题为基础的教学方法，它能拓宽学生的知识面，在提高学生学习的积极
档案管理作为医院管理的重要组成部分之一,对医院的发展有着极其重要的作用。但是目前我国医院档案管理工作中存在着许多的问题,笔者分析了这些问题,并有针对性地给出了改进
社会在不断发展,技术在不断进步,文化也在不断创新。教育者对教育有了新的认识,新课改应运而生,各个学科都在寻找新兴的教学模式。体育是小学教学中的重要组成成分,它与一般
新媒体时代,传播技术和手段不断更新,受众的阅读方式和阅读习惯也随之发生了改变。对于传统纸媒来说,新媒体带来的冲击不仅仅是技术层面和传播层面的,还有受众流失带来的消费
实例一长江CJ750型摩托车行驶时动力差,加速反应慢,化油器回火,停车后再不能启动.
2月2日，是第十一届世界湿地日。湿地与森林、海洋并成为全球三大生态系统，被誉为“地球之肾”。在这个湿地的节日，我们更要看到，地球上已经有50%的湿地消失，中国湿地保护堪忧。对
针对目前地质矿产施工中应用勘查与找矿技术过程中存在的问题影响,文章分析了研究地质矿产施工中勘查与找矿技术应用的现实意义与技术应用原则,并提出了优化控制的方法策略,
2007年2月，全国环保厅局长会议在北京隆重召开。国家环保总局宣教司作了“2007年全国环境宣传教育工作要点”的讲话。讲话强调，进一步加大对历史性转变的宣传报道力度；切实组织
2008年9月6日，中国在太原卫星发射中心用“长征二号丙”运载火箭，以一箭双星的方式将环境一号卫星A星、B星成功送入太空，为中国民用卫星大家庭又添“耀眼新星”。