基于AZO/VO_2/AZO结构的电压诱导相变红外光调制器

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kashiyo

【摘要】

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采用直流磁控溅射和后退火工艺先在掺Al氧化锌（AZO）导电玻璃基底上制备了高质量的VO2薄膜,再在VO2膜层上制备AZO导电膜,最终制备出了AZO/VO2/AZO三明治结构.测试了VO2/AZO复合

【作者】

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徐婷婷李毅陈培祖蒋蔚伍征义刘志敏张娇方宝英王

【机构】

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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代光学系统重点实验室,上海电力学院电子与信息工程学院,上海健康医学院医学影像学院

【出处】

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物理学报

【发表日期】

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2016年24期

【关键词】

：

AZO/VO_2/AZO 光透过率相变阈值电压 AZO/VO2/AZO optical transmittance phase transition

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划（批准号：2006AA03Z348）, 教育部科学技术研究重点项目（批准号：207033）, 上海市科学技术委员会科技攻关计划（批准号：06DZ11415）, 上海市教育委员会科技创新重点项目（批准号：10ZZ94）, 上海市领军人才培养计划（批准号：2011-026）资助的课题

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采用直流磁控溅射和后退火工艺先在掺Al氧化锌（AZO）导电玻璃基底上制备了高质量的VO2薄膜,再在VO2膜层上制备AZO导电膜,最终制备出了AZO/VO2/AZO三明治结构.测试了VO2/AZO复合薄膜和AZO/VO2/AZO三明治结构的组分、微结构以及光学特性,结果表明VO2/AZO复合薄膜在800—2300 nm红外区域其相变前后的最大透过率差值达24%,而AZO/VO2/AZO三明治结构在相同波长范围内其相变前后的最大透过率差值可达31%.通过在AZO/VO2/AZO三明治结构导电膜层上施加不同电压

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