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采用溶胶-凝胶工艺,使用旋涂方法在单晶硅片、石英玻璃和K9玻璃上制备SiO2/TiO2系列多层膜.采用椭偏仪、透射电镜等对所制得的多层膜的性能进行了研究.结果表明实验条件对SiO2/TiO2多层膜的制备非常重要.通过对实验条件的改善与优化,可以镀制出性能优良的SiO2/TiO2多层膜,以用于微型谐振腔、滤光片、一维光子晶体和传统的光学高反膜的研究.