【摘 要】
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介绍了一种强度调制型光纤气体传感器.它采用光通信用多模光纤,利用IC工艺中的光刻和化学腐蚀等技术,在硅片上制出传感器的整体结构.这种传感器的结构简单、测量方便、重复性
【机 构】
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介绍了一种强度调制型光纤气体传感器.它采用光通信用多模光纤,利用IC工艺中的光刻和化学腐蚀等技术,在硅片上制出传感器的整体结构.这种传感器的结构简单、测量方便、重复性好、成本低,有深入研究的价值.
An intensity modulated optical fiber gas sensor is introduced, which adopts the multi-mode optical fiber for optical communications and utilizes the technologies of lithography and chemical etching in the IC process to make the overall structure of the sensor on the silicon wafer. The structure of the sensor is simple , Convenient measurement, good repeatability, low cost and in-depth research value.
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