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90年代前的各种等离子体光谱仪,受检测器件的限制大都只能用光电倍增管来接收谱能量,不能很好地兼顾分析速度和分析范围。进入90年代,随着微电子技术和电脑技术的飞速发展,美国TJA公司和P-E公司竞相引入了电荷注射阵列检测器(CID)和电荷耦合阵列检测器(CCD),将等离子体光谱仪带入了全谱直读时代。