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粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件
粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件
来源 :计测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tt_lang
【摘 要】
:
介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。
【作 者】
:
刘晓健
曲鲁
李东华
卫东
裘南畹
【机 构】
:
济南半导体研究所,山东大学
【出 处】
:
计测技术
【发表日期】
:
2006年B09期
【关键词】
:
粉末溅射
薄膜
酒敏元件
powder sputter
thin film
alcohol sensor
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介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果。
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