【摘 要】
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现代低温泵（制冷机低温泵）是七十年代末发展起来的一种新型真空泵，目前国外巳大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学、光学和装饰类镀膜、原子能工业、空间模拟以及环境试
【机 构】
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国家机械委沈阳真空技术研究所,国家机械委沈阳真空技术研究所
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现代低温泵（制冷机低温泵）是七十年代末发展起来的一种新型真空泵，目前国外巳大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学、光学和装饰类镀膜、原子能工业、空间模拟以及环境试验等方面得到了广泛应用。本文简要介绍了低温抽气机理、典型结构及主要参数和尺寸的设计计算，并给出了降温时间计算式，最后对低温泵优化设计提出一些看法。
The modern cryogenic pump (cryogenic pump) is a new type of vacuum pump developed in the late seventies. At present, it has been mass-produced in foreign countries and has been widely used in semiconductor microelectronics, new materials science, optical and decorative coating, nuclear industry, space simulation, Environmental testing has been widely used. In this paper, the design and calculation of low-temperature pumping mechanism, typical structure, main parameters and dimensions are briefly introduced. The calculation formula of cooling time is given. Finally, some opinions on the optimal design of cryogenic pump are put forward.
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