【摘 要】
：
半导体装备系统通常由具有不同功能的可控部件组成,这些部件共同实现了半导体装备系统的底层输入输出等功能。针对半导体装备控制系统对不同功能的可控部件的一致性控制需求,
【机 构】
：
中国科学院研究生院,中国科学院沈阳自动化研究所
论文部分内容阅读
半导体装备系统通常由具有不同功能的可控部件组成,这些部件共同实现了半导体装备系统的底层输入输出等功能。针对半导体装备控制系统对不同功能的可控部件的一致性控制需求,实现了一种基于简单网络管理协议的分布式I/O通信系统,系统不仅可对所有支持SNMP协议的设备进行通信和控制,还对其他不支持SNMP协议的设备使用一种SNMP封装的方法,使得系统对所有设备能够统一采用SNMP的方式进行通信,从而满足半导体装备控制系统的一致性控制需求。
其他文献
随着社会的老年化，需要进行肠外营养支持的老年外科病人的比率正在逐渐增加。老年病人由于受体缺陷所导致的胰岛素拮抗，清除糖负荷的能力下降，但却能耐受较大的脂肪负荷〔１〕。有
以数控机床滚动导轨为研究对象,利用接触力学及弹性力学中的接触理论,分析计算滚动导轨结合面的接触刚度,建立了结合面的接触刚度的求解公式,得到接触刚度的理论模型.基于有
本研究将１３例接受胃癌根治术的病人作为腹部外科转手术期病人营养与免疫指标变化的研究对象，并对其加以评价。结果：本组术前存在营养不足和免疫抑制；术后营养指免疫指标进一步降低
采用双真空冶炼和FM锻造法，成功地锻造出了合格的曲轴。
为了解五氯酚（PCP）降解过程中参与PCP降解的微生物多样性，本文应用16SrRNA基因克隆文库方法对PCP厌氧生物降解体系中细菌群落的组成和相对丰度进行了研究。结果表明，TM7类群的微
针对核电压力容器用SA-508—3—1钢的组织与性能特点，分析出冶炼的难点，通过对冶炼工艺的深入研究，提出了采用EBT初炼一LF精炼-真空脱气-真空浇注的冶炼工艺方案，按该工艺方案成
肠移植将成为肠功能衰竭病人最为理想的治疗方法，肝肠联合移植适用于肠衰竭合并全肠外营养所致的肝功能衰竭的病人。我科于2003年4月24日施行了国内首例肝肠联合移植术，术后病
高血压循证医学的大量证据表明：更有效地控制血压并使血压达标，对减少心血管病事件十分重要。这首先是因为患者得到益处的多少与血压是否达标密切相关，而药物的非降压作用应建立