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浅析洁净管理在多晶硅生产中的应用
浅析洁净管理在多晶硅生产中的应用
来源 :汽车博览 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lavina0526
【摘 要】
:
随着国内外光伏与集成电路两个行业的快速发展,多晶硅作为重要的原材料其质量的重要性也越发凸显,所以在多晶硅生产过程中的洁净管理必须放在首位.本文对改良西门子法生产制
【作 者】
:
赵培芝
【机 构】
:
江苏鑫华半导体材料科技有限公司 江苏徐州 221001
【出 处】
:
汽车博览
【发表日期】
:
2021年1期
【关键词】
:
洁净管理
多晶硅
质量
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随着国内外光伏与集成电路两个行业的快速发展,多晶硅作为重要的原材料其质量的重要性也越发凸显,所以在多晶硅生产过程中的洁净管理必须放在首位.本文对改良西门子法生产制备多晶硅的流程进行了简述,并阐述了多晶硅质量稳定对洁净管理的要求.
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