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利用MEVVA源引出Mo离子和C离子,对65Nb钢进行不同剂量的离子注入,通过硬度测量、XRD、AES等方法研究了注入前后65Nb钢改性层的性能、成分及相组成的变化。试验发现Mo+C双元离子注入,可在65Nb钢注入层形成弥散的Fe2MoC相,这是使该种基体钢经离子注入后表面硬度显著提高的重要原因。