离子注入Al0.25Ga0.75As/GaAs的=Raman光谱研究

来源 :中国科学(A辑) | 被引量 : 8次 | 上传用户：zhaojuan2582

【摘要】

：

0 .8MeV的Si离子注入Al0 .2 5 Ga0 .75 As/GaAs外延薄膜的弱损伤特征 .注入剂量从 1× 1 0 14 ～ 5× 1 0 15 cm-2 ,对注入后的样品采用了Raman光谱测量 ,观察到了两类声子模式 ,该外延材料的晶格振动显示出“双模”行为 .并计算了在注入层中的应变以及晶格常数随剂量的变化 .此外还测量了样品的Rutherford背散射和沟道谱(RBS/C) ,结

【作者】

：

刘丕均夏曰源刘向东卢贵武

【机构】

：

山东大学物理系

【出处】

：

中国科学(A辑)

【发表日期】

：

2001年09期

【关键词】

：

离子注入掺杂 Raman光谱 Rutherford背散射测量晶格应力

【基金项目】

：

国家自然科学基金;

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