【摘 要】
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利用等离子体增强化学气相沉积技术,在钢球和硅基底上制备含氢类富勒烯碳膜（FL-C：H）,并利用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪（XPS）、场发射高分辨透射电子显微镜（HRTEM）以及纳米压痕仪
【机 构】
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甘肃省特种设备安全技术检查中心,兰州理工大学石油化工学院
【基金项目】
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甘肃省科技支撑计划（1604GKCA022）
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利用等离子体增强化学气相沉积技术,在钢球和硅基底上制备含氢类富勒烯碳膜（FL-C：H）,并利用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪（XPS）、场发射高分辨透射电子显微镜（HRTEM）以及纳米压痕仪等手段分析了FL-C：H薄膜的结构和力学性能,并通过摩擦磨损试验机、三维表面轮廓仪和光学显微镜研究了在PAO6和发动机油的润滑介质下FL-C：H薄膜对摩时的摩擦学性能.结果表明：在PAO6和发动机油作为润滑介质下FL-C：H薄膜与FL-C：H薄膜对摩具有较低的摩擦系数和磨损率,能够起到更好得润滑作用.
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