双光束尺寸检测仪的光电信号处理及其测量误差分析

来源 :长春光学精密机械学院学报 | 被引量 : 6次 | 上传用户:feiniao6688
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本文从双光束红外动态尺寸检测仪的原理出发,介绍了该尺寸检测仪的光电信号处理过程,分析了信号处理过程中影响尺寸检测精度的最主要因素,同时提出了减小有关误差,提高测量精度的方案,最后给出了原理样机的试验数据并进行了分析,为产品设计提供了参考。
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