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利用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了TiNxOy薄膜样品。发现薄膜的颜色、晶体结构、光学性质等都强烈依赖于反应气体的流量。利用光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、UV—Vis分光光度计、扫描电子显微镜(SEM)等测试手段对样品进行表征。结果表明:随着O2流量的逐步增加,薄膜逐渐呈现非晶态,晶粒逐渐变小。薄膜结构从TiN到TiNxOy再向TiO2过渡。透射光谱显示从TiN的不透明逐渐增加到透明度为80%,且吸收阈发生蓝移。