AOI检测设备的直线电机定位精度补偿研究

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直线电机凭借其优异的性能广泛应用在AOI检测设备上,其定位精度直接影响检测成功率。为了提高直线电机的定位精度,使用雷尼绍激光干涉仪对其进行测试。测试结果表明,直线电机的速度、加速度变化对直线电机定位精度影响不大。最后采用分段补偿的方法对直线电机进行误差补偿,提高了直线电机定位精度。
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