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激光直写系统图形编辑软件
激光直写系统图形编辑软件
来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangxueyh
【摘 要】
:
简要描述了一套针对激光直写系统,适用于衍射光学元件和精密码盘及其它图形的图形辅助编辑软件——MASK软件,简单介绍了其功能和结构。
【作 者】
:
白临波
孙国良
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
:
光电工程
【发表日期】
:
1997年S1期
【关键词】
:
激光直写
衍射光学元件
图形软件
计算机控制
激光光刻机
Laser direct write
Diffractive optical elements
Gra
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简要描述了一套针对激光直写系统,适用于衍射光学元件和精密码盘及其它图形的图形辅助编辑软件——MASK软件,简单介绍了其功能和结构。
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