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随着世界范围内对半导体产品需求的持续上扬,半导体发展已到了黄金时期.本文从半导体硅制造工艺的研究进展、化合物半导体技术的研究进展和应用等方面进行了综述.
半导体技术的研究进展
【摘 要】
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随着世界范围内对半导体产品需求的持续上扬,半导体发展已到了黄金时期.本文从半导体硅制造工艺的研究进展、化合物半导体技术的研究进展和应用等方面进行了综述.
【机 构】
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中国农业发展银行信息电脑部,济南科技风险投资公司项目部,山东省科学院情报研究所
【出 处】
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山东科学
【发表日期】
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2003年4期
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