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利用普适的紧束缚分子动力学模拟研究Si60团簇与Si(111)面的有角度碰撞机理,结果表明:整个碰撞过程反弹、结构重构和弛豫等过程,入射角度对碰撞结果有重要影响,Si60分子易和Si(111)面发生化学反应.在斜碰下随入射动能的增大,e(碰撞的非弹性程度)值增大,Si60团簇保持结构特性吸附于Si(111)表面的能量域值在50~70 eV之间.