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本文介绍如何采用KLA公司研发的Plasma Volt wafer来完成对半导刻蚀工艺进行监控的方法。
PlasmaVolt wafer 在半导体刻蚀领域的应用
【摘 要】
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本文介绍如何采用KLA公司研发的Plasma Volt wafer来完成对半导刻蚀工艺进行监控的方法。
【机 构】
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上海交通大学,上海,200240
【出 处】
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数字通信世界
【发表日期】
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2016年1期
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