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通过对50um直径铜引线超声键合过程中烧球工艺参数的优化，分析了各参数对烧球质量的影响及原因，并通过键合试验重点讨论了铜球表面质量、形球尺寸等对键合质量的影响。
Cu引线超声键合FAB工艺及影响研究
【摘 要】
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通过对50um直径铜引线超声键合过程中烧球工艺参数的优化，分析了各参数对烧球质量的影响及原因，并通过键合试验重点讨论了铜球表面质量、形球尺寸等对键合质量的影响。
【机 构】
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哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2008年4期
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