【摘 要】
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采用磁控溅射方法,制备结构为Glass/Cu（60 nm）/[Tb（tTb = 1.5, 3.0 nm）/FeCo（1.5 nm）]5/ Ta（10 nm）的两种不同Tb子层厚度的多层膜.采用X射线衍射分析仪、原子力和磁力显微镜、振动样
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采用磁控溅射方法,制备结构为Glass/Cu（60 nm）/[Tb（tTb = 1.5, 3.0 nm）/FeCo（1.5 nm）]5/ Ta（10 nm）的两种不同Tb子层厚度的多层膜.采用X射线衍射分析仪、原子力和磁力显微镜、振动样品磁强计对样品的晶体结构、磁畴结构和室温磁性质进行表 征,研究该多层膜系统的垂直磁各向异性和垂直交换偏置效应.X射线衍射分析表明,多层膜中Tb/FeCo界面主要呈非晶或纳 米晶态.磁力显微镜结果显示,制备态薄膜均呈现迷宫状条纹磁畴结构.室温磁性测量表明,薄膜的易磁化方向都垂
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