【摘 要】
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利用薄膜技术制作的半导体金属氧化物气体传感器阵列是由一个基底上的四个传感器单元组成的.基本结构是在4英寸的硅片上制作完成的. 首先,沉积金属铂电极,加热棒和温度传感器
【机 构】
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天津大学精仪学院,FraunhoferInstituteofPhysicalMeasurement
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利用薄膜技术制作的半导体金属氧化物气体传感器阵列是由一个基底上的四个传感器单元组成的.基本结构是在4英寸的硅片上制作完成的. 首先,沉积金属铂电极,加热棒和温度传感器.其次,沉积半导体金属氧化物SnO2.然后进行传感器阵列电极的焊接,封装.最后进行测量,测量结果显示了传感器阵列对不同气体甲烷(CH4),一氧化碳(CO),氢气(H2),二氧化氮(NO2)和氨气(NH3)的响应.
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