【摘 要】
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本文论述了电容式氧化铝湿敏元件的感湿原理及多孔氧化铝的成膜机理。通过特性的测试比较,确定了较工艺条件及合理的元件结构,并应用不同的方法对好的影响元件感湿特性的因素
【机 构】
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华中理工大学固体电子学系,华中理工大学固体电子学系
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本文论述了电容式氧化铝湿敏元件的感湿原理及多孔氧化铝的成膜机理。通过特性的测试比较,确定了较工艺条件及合理的元件结构,并应用不同的方法对好的影响元件感湿特性的因素进行了分析处理,使其稳定性得以提高。
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