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本文针对半导体企业扩散设备老化后，如何利用原有设备的硬件进行软件升级来实现扩散炉的改造进行简析。
半导体企业扩散设备的改造
【摘 要】
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本文针对半导体企业扩散设备老化后，如何利用原有设备的硬件进行软件升级来实现扩散炉的改造进行简析。
【机 构】
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国营第八七三厂
【出 处】
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电子世界
【发表日期】
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2014年20期
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