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本文介绍了SOI晶体管的结构和特点,并对体硅CMOS电路和SOI CMOS电路在工艺及版图设计上进行了比较.
SOI电路的研制
【摘 要】
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本文介绍了SOI晶体管的结构和特点,并对体硅CMOS电路和SOI CMOS电路在工艺及版图设计上进行了比较.
【机 构】
：
东北微电子研究所
【出 处】
：
微处理机
【发表日期】
：
2003年4期
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