【摘 要】
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一、概况长期以来,国内硅烷法生产多晶硅的第一道主要工序——硅化镁合成,一直采用固定床式的合成炉（卧式或立式）。这种固定床式合成炉具有一些难以克服的缺点,如:1.产量小,劳
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一、概况长期以来,国内硅烷法生产多晶硅的第一道主要工序——硅化镁合成,一直采用固定床式的合成炉（卧式或立式）。这种固定床式合成炉具有一些难以克服的缺点,如:1.产量小,劳动生产率低;2.产品硅化镁（Mg<sub>2</sub>Si）质量较差,产品中含Mg<sub>2</sub>Si89.81％,考虑机械损失,总回收率只有84.10％;3.产品有结块,粒度不均匀,需要破碎和筛分,劳动条件较差,劳动强度较大;4.整个操作较麻烦,安全得不到保障,由于硅化镁在合成后
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