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当前IC行业的迅速发展使得研制新型高速精密定位机构成为十分迫切的任务。针对这种需要，提出了一种新型平面并联定位机构，它由直线电机直接驱动含有平行四边形支链的并联杆机构来实现末端平台平面内的平动。首先根据输入、输出关系微分法建立了机构的误差模型，并对影响末端位姿误差的各类几何误差源进行了敏感性分析，给出了误差源对末端精度的敏感系数；然后基于误差映射矩阵，推导了机构定位误差极值表达式，并给出了已知误差源精度水平下，平台定位误差在工作空间内的分布情况。上述误差建模与分析方法对高精度的定位机构的设计及误差补偿具有