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n—GaAsTi/Mo/Ti/Au中肖特基势垒接触稳定性的研究
n—GaAsTi/Mo/Ti/Au中肖特基势垒接触稳定性的研究
来源 :北京工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:z4360877
【摘 要】
:
对Ti/Mo/Ti/Au作栅金属的GaAsMESFET进行了高温反偏,高压反偏,高温正向大电流,高温存贮4种不同的应力试验。通过HRB,Φb从0.643eV减少到0.62eV,理想因子n略有增大。HTS试验中Φb从0.67eV增加到0.69eV,分析表明,这归因于界面氧化层的消失。
【作 者】
:
李志国
张斌
【机 构】
:
北京工业大学电子工程学系,南京电子工业部55所
【出 处】
:
北京工业大学学报
【发表日期】
:
1996年2期
【关键词】
:
砷化镓
肖特基势垒
接触退化
GaAs schottky barrier contact degradation
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对Ti/Mo/Ti/Au作栅金属的GaAsMESFET进行了高温反偏,高压反偏,高温正向大电流,高温存贮4种不同的应力试验。通过HRB,Φb从0.643eV减少到0.62eV,理想因子n略有增大。HTS试验中Φb从0.67eV增加到0.69eV,分析表明,这归因于界面氧化层的消失。
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