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提出了MOS电容线性电压扫描法产生寿命测量的新方法。通过在MOSC t曲线上读取n个不同时刻的电容值 ,计算出相应的产生寿命值 ,其精度随读取点的增加而提高 ,该方法也特别适合于计算机辅助测量系统。
一种适合于计算机辅助测量的产生寿命确定方法
【摘 要】
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提出了MOS电容线性电压扫描法产生寿命测量的新方法。通过在MOSC t曲线上读取n个不同时刻的电容值 ,计算出相应的产生寿命值 ,其精度随读取点的增加而提高 ,该方法也特别适合于计算机辅助测量系统。
【机 构】
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浙江大学,信息与电子工程学系,浙江杭州,310028浙江大学,信息与电子工程学系,浙江杭州,310028;浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027;
【出 处】
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真空电子技术
【发表日期】
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2002年05期
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