射频等离子体沉技术计算机模拟研究现状

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阐述了计算机模拟在射频等离子体薄膜沉积技术中的重要地位,总结了几种常用的模拟方法并比较了各种方法的利弊和适用范围,展望了该技术发展的趋势。
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