切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
脉冲时间参数对电沉积铜薄膜性能的影响
脉冲时间参数对电沉积铜薄膜性能的影响
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:songyinming
【摘 要】
:
针对先进纳米铜互连技术的要求,研究了脉冲时间和关断时间对铜互连薄膜电阻率、晶粒尺寸和表面粗糙度争陛能的影响。实验结果表明,占空比较小时,镀层电阻率较大,晶粒直径较小。脉
【作 者】
:
徐赛生
曾磊
张立锋
张炜
张卫
汪礼康
【机 构】
:
复旦大学微电子研究院、复旦-诺发互连研究中心,罗门哈斯电子材料(上海)有限公司,上海大学化学系
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
铜互连
脉冲电镀
电阻率
晶粒尺寸
表面粗糙度
copper interconnect
pulse plating
resistivity
grain s
【基金项目】
:
国家自然科学基金项目(60176013),上海市科委AM基金(No.0304)
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
针对先进纳米铜互连技术的要求,研究了脉冲时间和关断时间对铜互连薄膜电阻率、晶粒尺寸和表面粗糙度争陛能的影响。实验结果表明,占空比较小时,镀层电阻率较大,晶粒直径较小。脉冲时间选择在毫秒数量级,占空比选择在40%~60%之间容易获得较小电阻率和较大晶粒尺寸的铜薄膜。
其他文献
Gibbons—Maeda Dilation黑洞的量子隧穿效应
运用Parikh的量子隧穿方法,研究了静态球对称Gibbons—Maeda dilation黑洞的量子隧穿效应.当考虑粒子的自引力作用和能量守恒时,Gibbons—Maeda dilation黑洞视界处的粒子隧穿率
期刊
Gibbons—Maeda
dilation黑洞
能量守恒
隧穿率
Bekenstein—Hawking熵
Gibbons - Maeda dilation b
基于业主方的电子政务项目管理研究
电子政务的快速发展为政府部门的平稳运转和高效履职奠定了不可或缺的基础,但在取得显著成绩的同时,由于政府部门项目管理意识薄弱,电子政务项目在建设各阶段仍面临各类复杂
期刊
电子政务
业主方
全过程管理
九价人乳头状瘤病毒疫苗有条件批准上市
本报北京讯 (记者刘云涛) 为加快新药进口注册进程,满足公众用药需求,按照中共中央办公厅、国务院办公厅《关于深化审评审批制度改革鼓励药品医疗器械创新的意见》有关要求,4月28
报纸
蝮蛇抗栓酶治疗血栓性静脉炎疗效观察
<正> 血栓性静脉炎和静脉血栓较常见,临床治疗常感棘手,我们自89年—95年应用蝮蛇抗栓酶治疗此类患者25例,疗效满意,其中13例治疗前后作了静脉造影,证实蝗蛇抗栓蝮有较强的溶
期刊
血栓性静脉
蝮蛇抗栓酶
药物疗法
嗜热菌BF80处理含酚废水的工艺研究
探索了嗜热菌BF80分别在南充炼油厂废水、西河废水、印染厂废水中的生长和苯酚降解情况.结果表明:BF80在炼油厂废水中可正常生长并降酚,在添加0.5%酵母粉后的西河废水中能够旺盛生
期刊
废水
嗜热菌BF80
苯酚
生物降解
wastewater BF80 phenol biodegradation
四川省平武县小河沟自然保护区鸟类资源调查初报
2003年7月10日-8月13日对小河沟自然保护区鸟类调查,结合前人的有关资料显示,该保护区有鸟类331种,分属14目51科,其中国家一级重点保护鸟类8种,二级重点保护鸟类33种.从区系
期刊
四川
平武县
小河沟自然保护区
鸟类资源
鸟类组成
评价
Xiaohegou Nature Reserve bird source investigation
汶川地震灾区因灾失地农民后期安居致富对策研究——以四川省绵竹市为例
汶川大地震使灾区部分农民丧失了耕地,毁坏了房屋,因灾失地农民面临着极大的生存发展压力.作者以绵竹市为例,在实地调研的基础上,认为灾区因灾失地农民还存在安居、社保、就业和致
期刊
汶川地震
失地农民
安居致富
Wenchuan earthquake Landless peasants Housing and wealth
2,7-蒽醌二磺酰胺类衍生物作为荧光探针对Hg2+的识别
以2,7-葸醌二磺酸钠为原料经卤代和氨解反应合成五种磺酰胺化合物.通过对多种金属离子进行荧光测定,发现化合物4和6对Hg2+都有较好的识别效果且表现为荧光增强效应.
期刊
化学传感器
酰胺
识别
金属离子
chemical sensor
amide
selective recognition
metal ion
新疆奎克乌苏地质公园地质遗迹资源调查与意义
在对奎克乌苏地质公园区域地质背景分析的基础上,将公园地质遗迹类型划分为地貌景观、水体景观、环境地质遗迹景观、地质剖面、地质构造、矿物与矿床6大类,并对地质遗迹资源价值进行了定性评价.结果表明,地质公园地质遗迹不仅具有极高的地学价值,同时还具有较高的生态学价值、人文历史价值和旅游学价值.
期刊
奎克乌苏地质公园
地质遗迹资源
分类与评价
kuikewusu gro-park geological heritage resources assortmen
匀加速直线运动稳态Kerr黑洞视界的表面引力
利用新的tortoise坐标变换,我们对匀加速直线运动稳态Kerr黑洞视界表面引力与粒子能级进行了研究.由Hamilton-Jacobi方程和Klein-Gordon方程求解得到的黑洞视界表面引力是一致
期刊
黑洞
视界表面引力
tortoise坐标
black hole surface gravity tortoise coordinate
与本文相关的学术论文