【摘 要】
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本文将DLTS测试技术用于低剂量B~+注入MOS结构,并给出了计算方法.对通过920(?)SiO_2膜、注入剂量为5×10~(11)B~+ cm~(-2),经480℃、15分钟热处理的样品测到了E_T-E_V=0.19eV
【机 构】
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西安交通大学半导体教研室,西安交通大学半导体教研室
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本文将DLTS测试技术用于低剂量B~+注入MOS结构,并给出了计算方法.对通过920(?)SiO_2膜、注入剂量为5×10~(11)B~+ cm~(-2),经480℃、15分钟热处理的样品测到了E_T-E_V=0.19eV,E_T-E_V=0.26eV和E_T-E_V=0.33eV三个深能级;对于1×10~(12)B~+ cm~(-2)注入,经常规热退火(950℃、30分钟)和红外瞬态退火(辐照源温1150℃,40秒)后分别测到了深能级E_T-E_V=0.24eV和E_T-E_V=0.29eV;对引入这些深能级的残留缺陷进行了讨论.
In this paper, the DLTS test technique is applied to the low dose B ~ + implanted MOS structure, and the calculation method is given.For the 920 × SiO 2 film, the dose of 5 × 10-11 B ~ + cm ~ (-2) ), Three deep energy levels of E_T-E_V = 0.19eV, E_T-E_V = 0.26eV and E_T-E_V = 0.33eV were detected in the samples heat-treated at 480 ℃ for 15 minutes. For the samples with 1 × 10-12 B + cm -2, respectively. The deep-level E_T-E_V = 0.24eV and E_T were measured by conventional thermal annealing (950 ℃, 30minutes) and infrared transient annealing (irradiation source temperature 1150 ℃, 40s) -E_V = 0.29eV; residual defects that introduce these deep levels are discussed.
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