【摘 要】
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在微型定位、导航、授时（Micro-PNT）系统中，芯片原子钟（CSAC）作为微型时钟模块的核心，其发展关乎到Micro-PNT系统的定位精度与授时能力。原子气室作为芯片原子钟的“心脏”，其制备工
【机 构】
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中北大学仪器与电子学院,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中国航天科技集团公司
【基金项目】
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科技部国家重点研发计划(2017YFB0503200);山西省自然基金项目(201701D121065,201601D11008);国家高分辨率对地观测系统重大专项(67-Y20A07-9002-16/17);山西省“1311工程”重点学科建设计划;山西省高等学校131领军人才;山西省高等学校中青年拔尖创新人才;山西省留学回国人员科技活动择优资助项目
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在微型定位、导航、授时（Micro-PNT）系统中，芯片原子钟（CSAC）作为微型时钟模块的核心，其发展关乎到Micro-PNT系统的定位精度与授时能力。原子气室作为芯片原子钟的“心脏”，其制备工艺直接决定着原子钟的体积、稳定度与功耗等多项性能指标。随着原子钟功耗的降低与体积的减小，加工制造出与之相适应的微型原子气室势在必行。从玻璃吹制法与微电子机械系统（MEMS）超精细加工法两个方面介绍了原子气室的加工工艺，综述了其研究进展，并分析了目前微型原子气室在制备工艺中存在的不足，对未来原子气室制备工艺的进一步
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