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声光外差干涉精密动态角度测量系统
声光外差干涉精密动态角度测量系统
来源 :中国仪器仪表 | 被引量 : 0次 | 上传用户:n62315942
【摘 要】
:
本文提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪,使用普通氦-氖激光器,采用声光调制,光外差干涉,电信号混频、比相技术,可得到较高的测量分辨率,干涉仪结构简单,调整方便。
【作 者】
:
李向
王佳
【机 构】
:
清华大学
【出 处】
:
中国仪器仪表
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
动态角度测量
外差干涉
比相
声光调制
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本文提出了一种用于精密角度测量的新型干涉仪,使用普通氦-氖激光器,采用声光调制,光外差干涉,电信号混频、比相技术,可得到较高的测量分辨率,干涉仪结构简单,调整方便。
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