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在利用离子交换树脂对晶硅片切割液进行提纯的过程中,树脂会受到有机物及铁等的污染而失去离子交换活性。选择不同的再生工艺,对其进行活化处理,使其交换能力大幅度提高。对离子交换树脂污染的原因、特征、活化工艺及离子交换能力的影响因素做了分析探讨。对其在晶硅片切割液生产领域的应用前景做了展望。
离子交换树脂活化再生在晶硅片切割液中的应用
【摘 要】
：
在利用离子交换树脂对晶硅片切割液进行提纯的过程中,树脂会受到有机物及铁等的污染而失去离子交换活性。选择不同的再生工艺,对其进行活化处理,使其交换能力大幅度提高。对
【机 构】
：
河南新大新材料股份有限公司
【出 处】
：
当代化工
【发表日期】
：
2013年6期
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