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中国科学院高能物理研究所以北京正负电子对撞机上的同步辐射装置为依托 ,从 2 0世纪 90年代初开始微细加工技术研究 ,主要以LIGA、准LIGA技术为主 .目前实验室具有开展微细加工所必需的洁净环境以及各种加工、检测设备 ,可以开展多种镀膜、多种光刻、干 湿法腐蚀、电 Institute of High Energy Physics, Chinese Academy of Sciences, Beijing is based on the positive and negative electron collider synchrotron radiation device as the basis, from the beginning of the 20th century, 90 early micro-processing technology research, mainly LIGA, quasi-LIGA technology mainly present laboratory with micro-processing The necessary clean environment and a variety of processing and testing equipment, can carry out a variety of coating, a variety of lithography, wet and dry etching, electricity
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