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在超精密控制中，一般采用双频激光多卜勒测量系统作为位置测量元件。因此机架、材料膨胀及材料、激光死区和环境空气变化，控制软件必须对此进行补偿校正。文中分析并推导出了有关的Ｘ－Ｙ工作台位置补偿校正公式，并给出了进行实际应用的例子。
大幅面超精密图形发生器X—Y工作台位置补偿校正
【摘 要】
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在超精密控制中，一般采用双频激光多卜勒测量系统作为位置测量元件。因此机架、材料膨胀及材料、激光死区和环境空气变化，控制软件必须对此进行补偿校正。文中分析并推导出了有
【机 构】
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西安电子科技大学电子工程学院
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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1996年3期
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