【摘 要】
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<正> 一般都认为现在批量生产的4M DRAM是主要推动技术发展的存储器,它加快了16MDRAM,64MDRAM半微米之后的器件开发,随着器件的高集成化的发展,对强流离子注入机的依赖性越发
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<正> 一般都认为现在批量生产的4M DRAM是主要推动技术发展的存储器,它加快了16MDRAM,64MDRAM半微米之后的器件开发,随着器件的高集成化的发展,对强流离子注入机的依赖性越发高,而且还必须适应严格的工艺要求,特别是随着器件的微细化,浅结技术已是离子注入工艺的关键工艺,为此,开发了BF_2~+低能注入和Si~+、Ge~+的预非晶技术等,另外,对MOS工艺中α射线控制、双极型工艺中隐埋层集电极形成等高能中的工艺要求也不少,而且,在器件批量生产时为了实现高成品率,对装置的净化要求也很强
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