基于牛顿环干涉的光学传感装置设计

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本文是建立在牛顿环干涉原理上,在理论条件上比较完备,同时制作的工艺也比较成熟。牛顿环装置常用来检验元件材料表面的准确度。如果改变凸透镜和平板材料间的压力,能使其间空气薄膜的厚度发生微小变化,条纹就会移动。用此原理可以精密地测定压力或长度的微小变化和凹凸度变化。
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