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电容式硅微机械陀螺是测量转动角速度的一种常用传感器。硅微陀螺都不可避免地存在驱动方向与敏感方向之间的机械耦合干扰,其主要原因是驱动轴与敏感轴的刚度耦合。本文研究发现,靠近敏感信号的峰值点对应着干扰影响最小的采样时刻。通过结合使用关断驱动信号法,减少了机械耦合干扰、电气耦合干扰和系统误差,提高了硅微陀螺的性能。