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摘要：为了解决三代像增强器管内阴极灵敏度下降问题，用质谱计对激活工艺过程进行质量检测，并确定了激活工艺参数，通过对阴极原子级洁净表面获得和激活铯、氧提纯工艺参数优化研究，对制备的透射式GaAs阴极光电发射稳定性进行在线试验，结果表明：在10-9Pa真空环境中，优化工艺激活的光电阴灵敏度（1500μA／lm）稳定，而且500h不下降，铟封到管内的阴极灵敏度下降与真空度降低和有害气体污染有关。