真空热预处理在平板摄像管CdSe多层靶面制作中的作用

来源 :液晶与显示 | 被引量 : 0次 | 上传用户：amwygah021121

【摘要】

：

为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺.重新装配的蒸发设备

【作者】

：

吕永积邵佑军黄庆云蔡东山施化芬

【机构】

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国家广电总局

【出处】

：

液晶与显示

【发表日期】

：

2003年4期

【关键词】

：

真空热预处理平板摄像管 CDSE 多层光导材料硒化镉多层靶面制作工艺 vacuum microelectronics flat panel camera

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为了研制用于真空微电子平板摄像管(FPC)的具有高感光度的CdSe多层光导材料,发展了包括真空热预处理(VHPT)和非真空热后处理(NAHT)在内的新型热处理工艺.重新装配的蒸发设备和具有结晶和氧化功能的新型炉具满足两种热处理工艺并同其他工艺一起可制造出新的高性能的CdSe多层光导靶.实验结果表明,CdSe多层光导靶的灵敏度提高,而清晰度(分辨率)保持不变,介绍了与VHPT工艺有关的实验结果.

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