硅基片材料激光热处理的实验研究

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介绍硅片材料激光热处理技术,分析报道了激光热处理和实验结果;并把这一研究结果试用于晶体管生产线上。 Introduce the laser heat treatment technology of the silicon material, analyze and report the laser heat treatment and the experimental results; and apply the research results to the transistor production line.
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