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利用剂量为35kGy-3500kGy的Co60源辐照VO2薄膜，对辐照后薄膜进行XRD和激光Raman光谱测试。结果表明，较低剂量辐照后VO2薄膜出现较显著的晶态变差现象，而高剂量辐照则在薄膜中产生退火效应，使薄膜晶态变好。由此引起VO2薄膜的热致相变的光学特性、特征Raman峰的强度和位置随辐照剂量的增加而出现变化。根据射线与物质相互作用原理对辐照引起的以上效应进行了讨论。